真空等离子清洗机:一、清洗对象经等离子清洗之后是干燥的，不需要再经干燥处理即可送往下一道工序。可以提高整个工艺流水线的处理效率；

二、等离子清洗使得用户可以远离有害溶剂对人体的伤害，同时也避免了湿法清洗中容易洗坏清洗对象的问题； 三、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶剂，这样清洗后不会产生有害污染物，因此这种清洗方法属于环保的绿色清洗方法。这在全球高度关注环保的情况下越发显出它的重要性；

四、采用无线电波范围的高频产生的等离子体与激光等直射光线不同。等离子体的方向性不强，这使得它可以深入到物体的微细孔眼和凹陷的内部完成清洗任务，因此不需要过多考虑被清洗物体的形状。而且对这些难清洗部位的清洗效果与氟利昂清洗的效果相似甚至更好；

五、使用等离子清洗，可以使得清洗效率获得极大的提高。整个清洗工艺流程几分钟内即可完成，因此具有产率高的特点；

六、等离子清洗需要控制的真空度约为100Pa，这种清洗条件很容易达到。因此这种装置的设备成本不高，加上清洗过程不需要使用价格较为昂贵的有机溶剂，这使得整体成本要低于传统的湿法清洗工艺；

七、使用等离子清洗，避免了对清洗液的运输、存储、排放等处理措施，所以生产场地很容易保持清洁卫生；

八、等离子体清洗可以不分处理对象，它可以处理各种各样的材质，无论是金属、半导体、氧化物，还是高分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等高聚物）都可以使用等离子体来处理。因此特别适合于不耐热以及不耐溶剂的材质。而且还可以有选择地对材料的整体、局部或复杂结构进行部分清洗；

九、在完成清洗去污的同时，还可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的润湿性能、改善膜的黏着力等，这在许多应用中都是非常重要的 小型等离子清洗机

小型等离子清洗机

PT-5ST

腔体材质： 不锈钢表面处理

供电电源： AC220V

工作电流： 整机工作电流不大于1.2A(不含真空泵)

射频电源功率： 0-300W可调（射频匹配一体）

射频频率： 13.56MHz

频率偏移量： 小于0.2KHz

特性阻抗： 50欧姆，自动匹配

真空度： 1pa-30Pa

气体路数： 双路气体输入（高精密浮子流量计）

气体流量： 10—300ml/min(可调)

过程控制： PLC人机界面自动与手动方式

清洗时间： 1-99999秒钟可调

功率大小 10%-100%可调

内腔尺寸 Φ150×270Lmm 5L

外形尺寸： 560×540×550mm L×W×H 台式

        600×550 ×11000  L×W×H 立式

真空泵： 2XZ-4（抽速2L/S）

真空室温度： 小于30°C

冷却方式： 强制风冷